Megmunkálási módszer legfeljebb 1 μM megmunkálási pontossággal. A precíziós megmunkálás precíziós szerszámgépek, mérőszerszámok és mérőeszközök segítségével valósul meg, szigorú környezeti feltételek mellett. Ultra precíziós megmunkálásnak nevezzük, amikor a megmunkálási pontosság eléri vagy meghaladja a 0,1 μ M-ot.

A precíziós megmunkálás technológiai hatása a következő:

A geometriai alak pontossága és az alkatrészek kölcsönös elhelyezkedése elérheti mikron vagy szög másodperc;

Az alkatrész határ- vagy jellemző mérettűrése mikrométer alatt van;

Az alkatrészek felületének mikro egyenetlensége (a felület egyenetlenségének átlagos különbsége) kevesebb, mint 0,1 μ m;

A kölcsönös szerelvények megfelelhetnek az erő kombinálásának követelményeinek;

Néhány alkatrész a pontos mechanikai vagy egyéb fizikai tulajdonságokra vonatkozó követelményeknek is megfelelhet;